Технологическое оборудование чистых помещений обычно создается с целью защиты персонала или производственного процесса от загрязняющих воздух частиц. В настоящее время большая часть примесей, оседающих на поверхности в чистых помещениях, образуется за счет газообразных в-в, а не частиц аэрозолей. Это явление получило название "молекулярное загрязнение воздуха", которое контролировать гораздо труднее, чем частицы. Тем не менее, существуют технол. решения, предназначенные для устранения источников и очистки загрязненного воздуха. Некоторые из этих решений описаны ниже.